作為工業(yè)操作中的一大服務(wù)氣體,高純氫氣有著十分廣泛的應(yīng)用途徑。合肥高純氣體更為基本的就是電子、冶煉、國防和科研上,還有就是能夠用于原料氣與配制氣體之間的色譜用載氣。作為高純氣體來說,其自身的源頭和批發(fā),也是隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展來提高應(yīng)用,科學(xué)實(shí)驗(yàn)和工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)特別是高新科技產(chǎn)品,如超大規(guī)模集成電路、光電子產(chǎn)品等,都需要嚴(yán)格控制氫氣純度及其雜質(zhì)含量,要求將O2、H2O、HTC等雜質(zhì)純化為CO、CO2、CO、10-9-12;
生產(chǎn)所需的氫,如硅鋼、鋼帶、精密合金和浮法玻璃,可達(dá)99.999%左右;在合肥高純氣體工業(yè)中,可用純氫進(jìn)行氣體分析和氣體精制。工業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的大部分工業(yè)氫必須經(jīng)過純化處理,才能滿足使用要求。其中氫的純化方法主要有化學(xué)吸收、催化反應(yīng)、選擇性吸附、膜分離等。
一、總烴測(cè)法的原理和定量方法。
氣相色譜分析檢測(cè)過程中,氣相色譜儀對(duì)氣體純度有很高的要求,達(dá)到了工作要求,又可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命,所用氣體純度要達(dá)到或略高于儀器本身對(duì)氣體純度的要求;否則,如果使用的氣純度不合格,就會(huì)造成一系列不良影響。
另外,在硅的外延過程中,氫氣與四氯化硅或三氯氫硅在被加熱的硅基板表面反應(yīng),合肥高純氣體使硅還原到硅基板上,形成外延層。以上工藝對(duì)氫的純度要求較高。當(dāng)碳?xì)浠衔锖窟^高時(shí),將產(chǎn)生碳化硅,從而導(dǎo)致外延層星形缺陷。所以,高純氫中所含的總烴類必須進(jìn)行定向監(jiān)測(cè)。
一、方法與原則。
本文介紹了一種氣態(tài)總烴氫火焰離子化測(cè)定方法,目前國內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室都采用此方法。本發(fā)明的工作原理:樣品進(jìn)入離子室后,在氫焰的高溫作用下,電離產(chǎn)生陽離子,由于被測(cè)物質(zhì)的離子數(shù)目與被測(cè)物質(zhì)的成分成比例,因此可以通過工作站(或記錄儀)記錄相應(yīng)成分的色譜峰。
二、量化的方法。
在火焰離子化檢測(cè)器上,總烴的反應(yīng)信號(hào)是多種烴類的信號(hào)總和,目前,合肥高純氣體除食品級(jí)二氧化碳國家標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的總烴外,其他氣體中的總烴量沒有統(tǒng)一的基準(zhǔn),在這里也采用了以甲烷作為基準(zhǔn),分析結(jié)果以甲烷作為基準(zhǔn)。氫為可燃?jí)嚎s氣體。儲(chǔ)藏在陰涼通風(fēng)的倉房里。箱體溫度不能超過30℃。避開火、熱源。避免太陽直射。應(yīng)該和氧氣,壓縮空氣,鹵素(氟,氯,溴),氧化劑等分開存放。
除此之外,咱們還要記得不能將氣體放在一起混合存放。而且合肥高純氣體倉庫中所安裝的照明、通風(fēng)等設(shè)施應(yīng)采用防爆型,并設(shè)開關(guān)于庫房外,配有相應(yīng)品種的消防器材。不允許使用容易產(chǎn)生火花的機(jī)器設(shè)備工具。在進(jìn)行驗(yàn)收時(shí)要注意品名、驗(yàn)瓶日期、進(jìn)貨渠道。裝卸過程中輕卸,防止鋼瓶和附件破損。
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